一、体格检查

医生通过视诊检查患者的一般状态，有无面色发绀、口唇青紫、杵状指等着缺氧症状。触诊患者胸部有无压痛，听诊胸部呼吸音有无异常，有无干湿啰音。

二、实验室检查

矽肺一般常规实验室检查无特殊意义。实验室检查重点是排除其他肺部疾病。合并细菌感染者多有白细胞及中性粒细胞的升高，部分患者有红细胞的代偿性升高。

血气分析：多数患者有低氧血症、高碳酸血症及酸碱平衡紊乱的表现。血气分析主要是用于判断患者目前状态，对下一步的治疗起到指导作用。
肺功能测定：早期患者肺功能损害不明显。随肺纤维组织增多、弹性减退，肺活量减低。随病情进展，1秒钟用力呼气容积及最大通气量也减少，残气量及其占肺总量比值增加，可有限制性通气功能障碍。合并支气管改变时可有阻塞性通气障碍。肺气肿越严重，这些改变也越明显，且引起弥散功能障碍。静息时动脉血氧分压可有不同程度降低。肺功能测定在诊断上意义不大，但可作为矽肺患者劳动能力鉴定的依据。
支气管肺泡灌洗液检测及经支气管镜肺活检：可辅助矽肺的诊断和鉴别诊断。鉴于小片活检肺组织不能全面反映肺组织的病变程度，故不能作为尘肺病理诊断的依据。但在小片活检肺组织标本中观察到尘肺结节、尘性弥漫性肺纤维化、尘斑等尘性病变，病灶经偏光显微镜检查可见石英尘粒，对解释影像学改变具有辅助支持的作用，可作为诊断和鉴别诊断的参考依据。小片活检肺组织未发现尘性病变也不能作为排除尘肺病的依据。

三、影像学检查

X线检查：目前诊断矽肺，主要依据胸部X线片表现。矽肺X线影像学改变是一个渐变的过程，动态系列胸片能系统的观察病变演变过程，更准确的判定小阴影的性质，能为诊断提供更为可靠的依据。因此原则上两张以上间隔时间超过半年的动态胸片方可作出确诊。但特殊情况下，有可靠的生产性粉尘接触史和职业卫生学调查资料支持，有典型的尘肺病X射线胸片改变，并有明确的临床资料可排除其他疾病，亦可考虑作出诊断。
CT检查：CT特别是HRCT等影像学检查技术在矽肺诊断中应用的研究报道日益增多，与胸片相比，其敏感性更高，在检出直径＜1.5mm的圆形小阴影上更有优势。更易检出位于心脏及纵隔后、脊柱或纵隔旁的大阴影，以及肺尖或锁骨后的融合小阴影，对肺气肿、肺大疱、胸膜斑的检出和发现大阴影内的空洞、钙化等影像方面明显优于X线片。
组织病理学检查：矽肺的基本病理病变包括尘肺结节、尘性弥漫性纤维化以及尘斑，这三种病理改变常常混合存在。典型的矽肺结节病灶呈类圆形、境界清楚、色灰黑、触摸有坚实感。镜检为矽结节，即具有胶原纤维核心的粉尘性病灶。呼吸细支气管、肺泡、小叶间隔、小支气管和小血管周围、胸膜下区因粉尘沉积所致的弥漫性胶原纤维增生。肉眼观察病灶暗黑色、质软、境界不清、灶周多伴有扩大的气腔(灶周肺气肿)。镜检见病灶中网织纤维、胶原纤维与粉尘相间杂，胶原纤维成分不足50％。病灶与纤维化肺间质相连呈星芒状，常伴灶周肺气肿。